Pembangunan Pabrik Oksigen VPSA

Pada tahun 1891, perusahaan Jerman Linde mulai mengerjakan pencairan udara di laboratorium perusahaan manufaktur mesin pendingin.
Pada tahun 1895, Profesor Linde membuat alat udara cair pertama dengan menggunakan efek Joule-Thomson.
Pada tahun 1901, Linde mendirikan pabrik peralatan kriogenik di Munich.
Pada tahun 1902, peralatan pemisahan udara untuk menara rektifikasi satu tahap pertama yang dirancang oleh Linde selesai dibangun. French Kraut menemukan mesin ekspansi dan mendirikan perusahaan Pencairan Udara di Paris.
Pada tahun 1903, Linde membuat generator oksigen industri pertama dengan kapasitas 10m3/jam, menggunakan proses pelambatan tekanan tinggi.
Pada tahun 1910, Perancis membuat generator oksigen 50m3/jam pertama menggunakan proses tekanan sedang dengan mesin ekspansi piston.
Pada tahun 1920, Hyland, Jerman, menemukan proses bertekanan tinggi untuk memproduksi oksigen cair dengan mesin ekspansi bertekanan tinggi.
Pada tahun 1924, Frankel menyarankan bahwa dalam peralatan pemisahan udara yang besar, pendingin yang diisi logam sebaiknya digunakan daripada penukar panas biasa.
Pada tahun 1926, Frankel mengusulkan bentuk umum akumulator dingin.
Pada tahun 1930, Linde membuat unit Linde Frankel skala industri pertama dengan output 255m3/jam dan kemurnian 99,5 persen O2.
Pada tahun 1932, turboexpander digunakan pertama kali pada unit Linde-Frankel. Oksigen pertama kali digunakan dalam sintesis metalurgi dan amonia di Jerman.
Pada tahun 1939, Uni Soviet menciptakan turboexpander efisiensi tinggi, dan mulai mempelajari peralatan pemisahan udara bertekanan rendah secara lengkap.
Pada tahun 1947, Linde mendedikasikan dirinya pada peralatan manufaktur oksigen industri bertekanan bawah penuh. Uni Soviet mulai merancang pabrik oksigen industri besar dengan proses bertekanan rendah penuh.
Pada tahun 1949, Amerika Serikat untuk pertama kalinya menggunakan generator oksigen 29000m3/jam pada penerapan penukar panas pelat melengkung.
Pada tahun 1952, Austria pertama kali menggunakan konverter oksigen murni untuk membuat baja, yang mendorong peningkatan tajam dalam oksigen metalurgi.
Pada tahun 1955, Amerika Serikat dengan giat mengembangkan rudal dan menggunakan oksigen cair dalam jumlah besar sebagai akseleratornya.
Pada tahun 1957, generator oksigen 120 ton/hari yang dioperasikan secara otomatis pertama kali dibuat.
Pada tahun 1960, Jepang menyelesaikan 10000m3/h99,6 persen O2 dan 10000m3/h99,99 persen N2 peralatan tegangan rendah penuh skala besar dengan kemurnian tinggi ganda.
Pada tahun 1972, Perancis membuat peralatan pemisahan udara oksigen murni dengan kapasitas terbesar di dunia: 1700 ton/hari O2 dan 1500 ton/hari N2.
Unit yang lebih besar masih dalam studi.